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碳化矽外延片是什麼

碳化矽外延片是在碳化矽襯底上生長的一層特定要求的單晶薄膜(外延層),這一層薄膜通常具有與襯底相同的晶格結構。

這種外延片可以進一步用於製造各種電子器件,如肖特基二極體、金氧半場效電晶體、絕緣柵雙極型電晶體等功率器件。碳化矽外延片的製造過程包括使用諸如化學氣相沉積、分子束外延等外延技術,這些技術在很大程度上決定了晶片和器件的性能。