臭氧污染主要是由人爲和自然因素引起的。具體來說：
人爲因素。工業生產、交通運輸和能源消耗等活動會釋放大量的氮氧化物(NOx)和揮發性有機物(VOCs)，這些物質在大氣中與太陽輻射和氧氣反應，形成臭氧。
自然因素。二氧化碳、一氧化碳和氧氣之間存在基本的光化學循環，二氧化碳在光照作用下分解出氧原子和一氧化氮，氧原子可以與大氣中的氧氣反應生成臭氧，但一氧化碳的存在又可以消耗臭氧。如果大氣中同時存在大量揮發性有機物，這個平衡會被打破，導致臭氧濃度升高。
此外，地理條件和氣象條件也會對臭氧污染產生影響。例如，山谷、山脈和城市建築等會影響空氣流動和擴散，而高溫、強陽光、高溼度和靜風等氣象條件也會增加臭氧的形成和積累。臭氧污染對人類健康和環境有害，因此需要採取措施進行控制和治理。