臭氧的形成是一個複雜的過程，主要涉及以下幾種情況：
自然產生。在地球的大氣層中，尤其是在平流層，臭氧主要由太陽光中的紫外線照射氧氣（O2）產生，這個過程被稱為「光化反應」。
人為產生。在近地面的大氣中，臭氧主要是由氮氧化物（NOx）和揮發性有機物（VOCs）之間的光化學反應產生，這些物質在太陽光照射下與空氣中的氧氣反應，生成臭氧。
此外，某些自然現象如雷電、森林火災等也能產生臭氧，但這些臭氧在短時間內能達到較高濃度，隨後會迅速消散。人類活動，特別是工業生產和交通運輸過程中排放的污染物，也會促進臭氧的形成，從而對環境和人類健康產生影響。