鍍膜靶材是什麼

用於鍍膜工藝的關鍵材料

鍍膜靶材是用於鍍膜工藝的關鍵材料，主要功能是在真空環境下通過濺射過程將蒸發後的物質沉積在基材表面形成薄膜。

鍍膜靶材可以是單一元素的金屬靶材，也可以是金屬合金、氧化物、矽化物、氮化物等複合材料。選擇合適的靶材對於獲得特定性能和特性的薄膜至關重要，其製備過程涉及多道加工工藝。在濺射鍍膜過程中，靶材被離子撞擊，其表面的原子被濺射飛散出來，並沉積在基板上，形成特定的電子薄膜。