設備工程師
EE通常指的是設備工程師（Equipment Engineer），主要負責設備的維護保養、提升機臺利用率、確保生產設備的正常運轉等，以達到OEE（Overall Equipment Effectiveness整體設備效率）的提升。EE的工作還包括故障處理、設備評估和引進、設備安裝調試等，以保障生產過程的穩定性和高效性。
EE的工作不僅限於技術操作，還包括與工藝工程師協作，確保生產工藝的穩定性和優化。在半導體生產環境中，EE需要特別關注超淨間的設備維護，確保設備的硬件如CVD機臺的粒子水平、gas流量、power輸出、pump和robot的正常工作，以及監控成千上萬個參數來保證設備的穩定運行。
此外，EE還需要定期進行設備的保養維護，比如更換部件、酸溶液、slurry、cmp pad、purge pump line/gas line等，以確保設備的長期穩定運行。EE的工作不僅包括技術操作，還涉及到與結構工程師、工藝工程師的協作，以及參與新產品的試產和設計文檔的編制。