電感耦合電漿發射光譜儀（ICP-OES）的原理基於原子發射光譜分析。以下是其原理的具體介紹：
樣品通過霧化器引入ICP-OES系統，轉化為氣溶膠噴霧。
在高溫的電感耦合電漿環境中，樣品的氣溶膠被蒸發，其中的原子和離子被激發到激發態。
當這些激發態的原子和離子返回到基態或其他較低能級時，它們以光的形式釋放出特定的波長。
這些特徵波長被光學系統分離，並通過檢測器陣列量化，最終轉換成元素的濃度單位。
由於不同元素的原子或離子在電子躍遷時發射的光波長是特定的，因此可以通過測量這些波長來確定樣品中存在的元素及其濃度。這個過程既適用於定性分析（確定樣品中存在哪些元素），也適用於定量分析（測量元素的精確含量）。