MEMS（微機電系統）技術涉及製造小型機械組件，這些組件通常集成在微電子設備中，能夠實現從簡單的開關到複雜的運動控制的多種功能。MEMS感測器的工作原理基於其微型機械部件的物理運動，這些部件可以是微型機械致動器、微結構、微電子器件和微感測器。
MEMS感測器利用微型化技術，將傳統的機械元件如電容、電感、電阻等微型化，並通過這些元件的電學參數變化（如電容、電阻值的變化）來檢測物理量（如聲音、壓力、加速度、角速度等）。例如，MEMS麥克風通過檢測聲音引起的振膜運動來轉換聲壓為電信號；MEMS壓力感測器則通過檢測壓力引起的薄膜變形來改變電阻或電容值，從而測量壓力。
MEMS技術不僅限於聲學和壓力感測，還包括加速度計、陀螺儀、磁感測器等，這些感測器在智慧型手機、汽車、航空航天等領域有廣泛套用。MEMS技術因其微型化、低成本、高性能和大批量生產的優點而具有顯著的商業價值。