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n阱的作用是什麼

N阱,也稱為N型埋層或N型隔離層,在半導體工藝中具有多種作用。其主要功能包括:

製造PMOS電晶體。N阱通常用作PMOS電晶體的襯底。

製造電阻。由於N阱的摻雜濃度較低,電阻率較高,因此可以用於製造電阻,這種電阻被稱為阱電阻。

構成二極體和製造寄生電晶體。N阱可以與襯底構成二極體,用於製造寄生PNP電晶體。

隔離器件。在更先進的工藝中,深N阱(DNW)用作隔離層,用於隔離器件,防止不同電路之間的干擾。

N阱的製作過程涉及在矽片上塗膠、使用掩模版進行光刻、氧化層生長、暴露矽片於施主原子下進行摻雜,以及後續的光刻膠去除步驟。這個過程精確控制了施主雜質的擴散,從而形成了符合設計要求的N阱。