工藝冷卻水系統（PCW），也稱為製程冷卻水系統，主要用於冷卻工藝設備，類似於工藝設備的空調系統。PCW系統是無塵車間工程空調系統的重要組成部分，對無塵淨化工程起著關鍵作用。
PCW系統的基本組成包括：
PCW水箱。用於儲存冷卻水。
變頻泵。通過PID控制來調節流量。
板式換熱器。用於冷凍水與冷卻水之間的熱交換。
冷凍水、冷卻水側水管。用於水的流動。
過濾器。保證水質。
生產設備用水點。將冷卻水輸送至需要冷卻的設備上。
此外，PCW系統還包括溫度和壓力感測器、變頻器、PLC等控制部分。系統通過控製冷凍水的量來維持PCW的水溫，構成一個閉式循環。冷凍水則直接返回冷凍機。PCW水箱還充當系統的補水系統，確保系統的水壓和溫度穩定，這些參數由感測器監控並反饋至PLC，PLC再通過變頻器調整變頻泵的頻率來控制。
在無塵車間工程中，PCW系統與空調系統緊密相關，共同維護車間內的環境條件。