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sem操作流程

SEM掃描電子顯微鏡)的操作流程通常包括以下步驟:

開電子槍並定位樣品。首先開啟電壓,選擇合適的加速電壓(例如5000伏),然後定位樣品,將樣品台移動到距離物鏡下方約5-10毫米的高度。

設定預覽參數。包括加速電壓、探測器選擇(如SE2)和掃描速度(如3),降噪方式選擇像素平均(PixelAVG),並設定亮度對比度

聚焦和消像散。低倍聚焦,如放大500倍,高倍聚焦,觀察並調整FocusSigmatorx/y進行消像散處理,直到圖像清晰。

拍照和保存。設定拍照放大倍數(如3萬倍),選擇拍照掃描參數(如掃描速度4,降噪方式Linent線積分30次),拍照完成後保存圖像。

此外,在操作SEM時還需要注意樣品準備、樣品台的正確使用、以及在操作過程中對樣品位置和電子槍的調整,以確保圖像質量和實驗安全。整個流程需要仔細調整多個參數,以獲得清晰的圖像。