六氟化硫（SF6）是一種在多個領域有著廣泛套用的化合物，其主要用途包括：
電氣工業。SF6因其高介電強度和優異的滅弧性能，被用作高壓開關、大容量變壓器、高壓電纜的絕緣材料。SF6斷路器是電力系統中重要的設備，用於保護輸電線路和變電站，其在電路故障時切斷電路，以保護電力系統，具有高斷電能力、環境適應性強、操作可靠、維護費用低等優點。
微電子技術。電子級高純SF6用作電子蝕刻劑，大量套用於微電子技術領域，如在電腦晶片、液晶屏等大型積體電路製造中的等離子刻蝕及清洗。
金屬冶煉。SF6在鎂合金熔化爐中作為保護氣體，防止鎂及其合金被空氣氧化。
醫療和航空航天。SF6用於X光機、雷射機等醫療設備，以及航空航天領域。
製冷行業。SF6作為致冷劑，其致冷範圍在-45℃～0℃之間。
採礦工業。SF6用作反吸附劑，用於礦井煤塵中置換氧，提高礦井安全性。
化工領域。SF6用於製造高級汽車輪胎、新型滅火器等產品，還用於氣象領域的示蹤分析。
此外，六氟化硫的化學性質非常穩定，無毒、不燃且無腐蝕性，因此其在許多領域中都有套用。