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tft製程

TFT製程指的是薄膜電晶體(Thin-Film Transistor)的生產工藝,主要套用於TFT-LCD(薄膜電晶體液晶顯示)技術中。這一製程包括在玻璃基板上製作數百萬個薄膜電晶體,這些電晶體在TFT-LCD工作中充當電路開關的角色,負責將圖像信號傳輸到各個像素。TFT製程的主要步驟包括:

基板清洗。使用清洗劑和超純水清除玻璃基板上的異物。

薄膜沉澱工藝。在玻璃基板上形成金屬、半導體或絕緣體的薄膜,這通常通過濺射沉積(Sputter)技術實現。

光刻工藝。包括塗敷光刻膠、曝光、顯影、蝕刻等步驟,以形成所需的薄膜圖案。

重複上述步驟。在基板上形成多層不同材料和形狀的薄膜,構建出薄膜電晶體陣列和互聯線。

此外,TFT製程還包括對基板的品質檢測、彩膜(CF)工藝(形成紅綠藍濾光層的過程),以及與TFT基板結合形成液晶盒的成盒(Cell)工藝。TFT製程可以進一步細分為前段Array製程、中段Cell製程和後段模組組裝(Module Assembly)製程。前段Array製程專注於在玻璃基板上製作薄膜電晶體,中段Cell製程將TFT基板與彩膜基板結合併灌入液晶,而後段模組組裝製程則將Cell製程後的玻璃與其他組件(如背光板、電路、外框等)組裝在一起。