xps分析是什麼

X射線光電子能譜分析

XPS分析是指X射線光電子能譜分析(X-ray Photoelectron Spectroscopy)，是一種用於表面分析的技術。

它利用X射線激發樣品表面，測量材料所發出的光電子能譜，從而確定表面元素的化學狀態及其他相關信息。XPS可以提供除H和He以外的所有元素的化學組成、價態、分子結構等信息，且對樣品表面的破壞性非常小。這種技術被廣泛套用於材料科學、化學、物理等領域，特別是在化學成分分析、材料界面分析和生物醫學套用等方面發揮著重要作用。