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劈尖乾涉原理

劈尖乾涉原理是一種基於光的乾涉現象的測量技術,主要用於檢查平面平整度和表面形貌。其基本原理如下:

光的乾涉:當兩束或多束光波在空間某一點相遇時,如果它們的相位差是光的半波長的偶數倍,則這些光波的波峰和波谷會相互加強,形成亮條紋;如果相位差是奇數倍,則波峰和波谷相互抵消,形成暗條紋。

劈尖乾涉裝置:通常包括一個光源、一個劈尖(由兩個平面組成的角)和一個螢幕。光源發出的光經過劈尖,在劈尖的兩個面上反射後,形成乾涉條紋。

乾涉條紋特點:

明暗相間的等間距條紋,表明光程差是半波長的整數倍。

任意一條明條紋或暗條紋所在位置的薄膜厚度相等。

任意相鄰明條紋或暗條紋所對應的薄膜厚度差恆定。

套用:劈尖乾涉廣泛套用於檢查玻璃工件的表面平整度,以及測量微小距離變化等。

通過分析乾涉圖案的變化,可以確定被測物體的表面形貌及質量。