半導體sem是什麼

掃描電子顯微鏡

半導體SEM通常指的是掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope），它是一種在半導體工藝領域廣泛應用的高分辨率表徵技術。通過掃描樣品表面，利用電子束與樣品相互作用所產生的信號來獲得樣品的形貌、結構和成分等信息。此外，FESEM是場發射掃描電子顯微鏡（Field Emission Scanning Electron Microscope）的簡寫，它與SEM在功能上相似，但使用場發射電子源，從而提高了成像質量和分辨率。