真空泵的工作原理主要基於以下幾種類型：
液環真空泵。這種泵內部有一個偏心葉輪，並通過適量的液體（工作液）形成封閉的水環。葉輪旋轉時，液體在離心作用下甩到泵體內壁，形成小腔室。由於葉輪偏心安裝，腔室體積隨葉輪轉動而變化，實現氣體的吸入、壓縮和排出。
機械泵。其利用旋轉齒輪滾筒或旋轉葉片來排放氣體。在吸氣過程中，腔體體積增大，形成真空，氣體被吸入；排氣過程中，腔體體積減小，壓縮氣體，通過排氣口排出。
羅茨泵。這種泵通過兩個相互垂直安裝的「8」字形轉子，在泵腔內無內壓縮地移動氣體。轉子旋轉時，氣體從進氣口吸入，然後通過排氣口排出。
噴射真空泵。利用蒸汽或其他工作流體通過拉瓦爾噴嘴產生的高速流動，將氣體從進氣口吸入並與工作流體混合，然後在擴散器中減速增壓，最後通過冷凝器排出。
這些真空泵的工作原理涉及氣體或蒸汽的吸入、壓縮和排出過程，通過不同的機械作用實現氣體分子的有效抽離，從而達到減壓或抽真空的效果。