真空泵油的成分主要包括以下幾類：
礦物油。這是真空泵油中使用最為廣泛的成分之一，主要由碳、氫、硫等元素組成。礦物油的特點是低粘度、較好的潤滑性和價格便宜，但含有雜質，可能對設備造成損害。
合成油。包括多基礎合成油和酯類油。多基礎合成油具有良好的氧化穩定性和高溫性能，抗水性、抗氣化、抗腐蝕、不易揮發。酯類油則具有良好的潤滑性、氧化穩定性、抗氧化性和低溫性能。
添加劑。真空泵油中還添加了多種添加劑，如抗氧化劑、抗腐劑、附加劑、乳化劑等，以提高油的性能和增加油的壽命。
其他成分。可能包括脂肪酸、酚類、無機鹽等。
這些成分共同作用，使得真空泵油能夠在不同的溫度和壓力條件下有效地潤滑真空系統，同時維持系統的穩定性。