臭氧污染源主要包括人為源和自然源兩大類：
人為源：
機動車尾氣：機動車排放的氮氧化物和揮發性有機物是造成近地面臭氧污染的主要來源之一。隨著經濟社會的發展，機動車保有量持續增加，特別是北京、上海、深圳等超大城市的汽車保有量超過百萬，導致氮氧化物排放量大幅增長。
燃煤電廠、石油化工、塗料生產：這些工業過程同樣向大氣中排放大量氮氧化物和揮發性有機物，對臭氧污染貢獻顯著。
光化學反應：在充足的陽光、適宜的氣象條件（如低風速和低濕度）下，揮發性有機物（VOCs）和氮氧化物（NOx）在紫外線的照射下發生複雜的光化學反應，生成大量的臭氧。
自然源：
高空臭氧層的流入：部分臭氧來源於高空的輸送。
土壤、閃電、生物排放：這些自然過程也會釋放一定量的臭氧。
綜上所述，人為源是造成近地面臭氧污染的主要原因，特別是機動車尾氣排放和工業過程中的污染物排放。自然源雖然對臭氧污染有貢獻，但其影響相對較小。光化學反應是連線人為源和臭氧生成的關鍵過程，了解和控制這一過程對於減少臭氧污染至關重要。