臭氧濃度升高的主要原因包括光化學反應、高溫和強光照條件、以及特定的氣象因素。具體如下：
光化學反應。在太陽光紫外線照射下，大氣中的氧分子分解成兩個氧原子，然後與一個氧分子結合，形成臭氧。
高溫和強光照條件。夏季溫度越高、光照時間越長，越容易引發臭氧超標。臭氧濃度一般在5月份開始增長，到8月份達到最高，進入秋季後逐步降低。
氣象因素。太陽輻射強度、氣溫和相對濕度的變化都會影響臭氧的濃度。太陽輻射強度和氣溫的升高促進光化學反應的進行，有利於臭氧的生成。相對濕度的降低則有利於臭氧的累積。
特定污染物。如一氧化碳(CO)、揮發性有機物(VOCs)和氮氧化物(NOx)等。這些物質在大氣中發生化學反應，促進臭氧的生成。
人類活動。如交通排放、工業生產、生物質燃燒等，都會釋放出導致臭氧污染的前體物。
以上因素共同作用，導致近地面臭氧濃度的升高，形成所謂的臭氧污染。