衍射峰是指在X射線衍射圖譜上記錄的衍射強度逐漸增強和減弱的尖峰狀分布曲線。這是因為入射的X射線束有一定的寬度和發散度，而礦物晶體結構往往具有各種缺陷，如鑲嵌結構、晶面間距不規則和粒度過細所造成的影響，使實際獲得的衍射強度並非完全集中於一點，而形成一個向θ角兩邊展布開的上尖下寬的峰。衍射峰的尖頂可作為測量晶面間距(d值)的依據，但嚴格的測量應以峰的強度中心為依據。
具體來說，當射線以掠角為θ入射到被測物質的某一點陣晶格常數為d的晶面，當該掠角滿足布拉格公式時，從被測物質該晶面上反射出因衍射波疊加而加強的衍射線，定義此被測物質的衍射峰為2θ。對材料施加不同的電場強度會使物質產生微小形變，晶格常數發生變化，從而產生不同的衍射峰，根據布拉格公式，通過已知的射線波長和測量的衍射峰即得到被測物質的晶格常數。