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面型pv值

面型PV值是指面型精度的一個指標,其全稱為Peak to Valley,即峰值與谷值的差值。

在光學表面面形質量的評估中,PV值表示在取樣範圍內(基於2D輪廓線或者3D數據地圖),去除基準面之後,最高點和最低點之間的高度差。PV值以物理長度為單位,直接反映了當前光學表面的加工質量。例如,如果面型的PV值是1/4λ時,表示理想平面的最大偏差值是158.2nm。