eot公式

EOT（等效氧化層厚度）公式用於描述高K值材料與二氧化矽之間的物理厚度換算關係。具體公式為：EOT = (二氧化矽介電常數/高K材料介電常數) * 高K材料物理厚度。這意味著，當EOT保持一定時，為了增加高K材料的物理厚度，需要選擇具有較高介電常數的材料。這是因為高介電常數的材料能夠在保持相同電容的情況下，使用更厚的物理厚度，從而有助於提高器件的性能和可靠性。