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pr光阻

PR光阻,也稱為光刻膠或光阻,是一種光敏感材料。它的主要作用是在光刻過程中感光和保護下面的材料。當PR光阻被紫外光(UV)照射後,其化學性質會發生改變,使得被照射的部分可以被顯影液溶解掉。這樣,在光刻膠上形成了特定的圖案,從而在下面的材料上刻蝕出相應的圖案。而未被紫外光照射的部分則保持不變,保護下面的材料不被刻蝕液影響。