使用掃描電子顯微鏡（SEM）的基本步驟和方法如下：
樣品準備和放置。首先，需要戴上實驗室專用手套，將樣品使用電膠布或其他導電物質固定在樣品台上。然後，在SEM控制電腦主頁上選擇「vent」以充入空氣，打開艙門，將樣品放入特定位置，並關閉艙門後開始抽真空。不同設備對真空度的要求不同，樣品的高度也需要特別注意，以避免損傷探測器。
調整樣品位置。如果只有一個樣品，可以直接在電腦上操作將樣品放置在電子槍下方。對於多個樣品，需要記住樣品所在位置的編號，並通過攝像頭監控樣品室中樣品和電子槍的相對位置。
開啟電子槍。將樣品放置在理想位置後，接下來就是開啟電子槍，讓電子開始噴涌而出。
對焦和消像散。在對樣品進行觀察前，需要進行對焦和消像散調節。對焦相對容易，通過改變焦距直至圖像最清楚即可。在偏離焦距較多時可以使用較高的靈敏度，而在合焦點附近則需要調低靈敏度以進行精確對焦。消像散則需要一定的技巧和經驗。
加高壓（EHT）並觀察樣品。完成以上步驟後，可以加高壓並觀察樣品。
關機步驟。完成觀察後，需要按正確的順序關閉高壓（EHT）、燈絲、SmartSEM軟體、Windows作業系統，並在必要時關閉能譜和EBSD系統。
這些步驟涵蓋了SEM操作的基本流程，包括樣品的準備、放置、電子槍的開啟、對焦和消像散調節，以及最後的關機步驟。需要注意的是，每台SEM設備都有其特定的操作要求和細節，因此在實際操作中還需要參考具體設備的操作手冊。