什麼是濺射

濺射是一種物理現象，指的是在特定條件下，如離子轟擊或重離子碰撞，導致物質表面的原子、分子或團簇被噴射出來的過程。

濺射通常在真空中進行，利用高能離子（如氣體等離子體中的陽離子）轟擊固體表面，使表面原子獲得足夠的能量而逸出。這個過程不僅是一種物理現象，還是材料科學中的一箇重要技術，用於製備薄膜材料和加工材料表面。在半導體工業和電子工業中，濺射技術尤其重要，用於製造半導體器件和大規模集成電路。