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光罩是 什麼意思

光罩,也被 稱 為光掩膜版或光刻掩膜版,是半 導 體 製造中的 一個 關 鍵 組件。

光罩的主要作用是通 過光刻技 術, 將 設 計好的 電路 圖案精 確地 轉移到晶 圓上, 這 個 過程中,光源透 過光罩,上面的 電路 圖形被投影到覆 蓋有光敏化 學物 質的晶 圓上,通 過曝光和 後 續的化 學 處理, 電路 圖形就被 「雕刻 」在了半 導 體材料中。光罩通常是使用高 純度的石英玻璃作 為基底,上面 鍍有金 屬 鉻 層和感光 膠 層, 這 樣的 結 構使得光罩能 夠精 確地 傳 遞 設 計 圖案。