半導體rtp是什麼

快速熱處理

半導體RTP(快速熱處理)是一種半導體制造技術。

這項技術涉及在幾秒或更短的時間內將晶圓加熱到1000℃左右的溫度，然後進行短時間的熱處理。RTP系統使用輻射熱源對晶片進行一片一片的加熱，溫度測量和控制通過高溫計完成。這種處理方式主要用於氧化、退火、金屬硅化物的形成和快速熱化學沉積等應用。與傳統的爐膛退火相比，RTP的效率更高，因爲它可以產生優質的硅化物和氧化物，同時降低溫度和時間的熱預算。RTP系統通常具有晶片旋轉功能，以提高熱處理的均勻性。