特徵尺寸

在積體電路領域，特徵尺寸是指半導體器件中的最小尺寸，典型代表為「柵」的寬度，也即MOS器件的溝道長度。一般來說，特徵尺寸越小，晶片的集成度越高，性能越好，功耗越低。此外，特徵尺寸也可以包括配合尺寸、相對位置尺寸、安裝尺寸、外形尺寸以及其他對實現裝配體功能有重要意義的尺寸。