真空高壓蒸汽滅菌法是一種利用高溫和高壓的物理滅菌方法。其滅菌條件要求蒸氣壓力達到205.8kPa（2.1kg/cm²），溫度升至132℃以上，並維持10分鐘，這樣可以殺死包括具有頑強抵抗力的芽孢和孢子在內的所有微生物。這種方法主要用於能耐高溫的物品，如培養基、金屬器械、玻璃、搪瓷、敷料、橡膠及一些藥物。
真空高壓蒸汽滅菌法的步驟通常包括將待滅菌的物品放入滅菌腔內，然後啟動真空泵抽出腔內空氣，以達到高真空度。接著注入蒸汽，使壓力達到特定值，然後進行排汽，再次抽真空，注入蒸汽，直至達到滅菌壓力和溫度，維持一段時間後，進行排汽和真空乾燥，最後待腔室內外壓力平衡，溫度降至安全溫度時，才能開門取出物品。
此外，還有預真空高壓蒸汽滅菌法，它通過機械抽真空的方式使滅菌櫃室內形成負壓，便於蒸汽迅速穿透到物品內部進行滅菌。這種方法通常使用205.8kPa的蒸氣壓力和132℃或以上的溫度進行滅菌。
需要注意的是，滅菌效果的監測非常重要，可以通過化學指示劑或物理參數（如壓力表、溫度表、計時錶）來判斷滅菌效果。同時，滅菌過程中要注意避免冷凝水產生，以免影響滅菌效果。