表徵分析方法主要包括以下幾個方面：
微觀形貌分析。旨在分析材料的幾何形貌、顆粒度、顆粒度分布以及形貌微區的成分和物相結構。常用的方法有掃描電子顯微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)、原子力顯微鏡(AFM)和掃描隧道顯微鏡(STM)等。
物相結構分析。關注於確定材料中存在的物相和結構。常用的方法包括X射線衍射分析、雷射拉曼分析、傅立葉紅外分析和微區電子衍射分析等。
成分分析。主要用於分析材料的元素組成及其雜質成分。方法有原子吸收、原子發射、ICP、質譜以及X射線螢光和X射線衍射分析。其中，原子吸收、原子發射、ICP和質譜分析通常需要對樣品進行溶解，因此屬於破壞性樣品分析方法；而X射線螢光與衍射分析方法可以直接對固體樣品進行測定，屬於非破壞性元素分析方法。
物理性能分析。涉及測量材料的物理特性，如氮氣吸脫附、熱重分析(TG)、熱重-質譜聯用(TG-MS)、程式升溫脫附(TPD)等。