靶材是一種在各種物理、化學過程中使用的材料。以下是關於靶材的詳細介紹：
在物理氣相沉積、化學氣相沉積等工藝中，靶材通常是金屬、合金或陶瓷等材料的板塊形式，其主要功能是將需要被噴射或沉積到物體上的材料吸附在表面。
在高能雷射武器中，靶材用於與雷射相互作用，產生殺傷破壞效應。
在材料科學和工業套用中，靶材用於通過濺射、電鍍等工藝生成特定性質的薄膜、塗層或材料，例如超導材料、半導體、磁性材料等。
靶材可以是金屬、陶瓷、半導體等，其製備過程及性質對於薄膜的質量和套用具有重要意義。
此外，靶材的種類繁多，包括但不限於銅、鋁、鎢等金屬靶材，氧化鋁、氮化矽等陶瓷靶材，以及用於特定套用的合金靶材和半導體靶材等。