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boe溶液是什麼

BOE溶液,即Buffered Oxide Etch,是一種化學溶液,主要由氫氟酸(HF)和氟化銨(NH4F)組成。

這兩種成分按照一定比例混合,可以蝕刻玻璃、二氧化矽(SiO2)或氮化矽(Si3N4)等含矽物質的薄膜。BOE溶液在半導體、光伏太陽能、平板顯示等多個領域有廣泛的套用。需要注意的是,氫氟酸對皮膚有強烈的腐蝕性,如果不小心被濺到,應立即用大量水沖洗。