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fib切片分析

fib切片分析是:

一種利用聚焦離子束(Focused Ion Beam,簡稱FIB)技術對樣品進行切割、觀察和分析的方法。以下是fib切片分析的主要步驟和內容:

準備樣品:將待分析的樣品放置在FIB切片儀的樣品台上,並確保樣品的表面光潔平整,以便離子束能夠準確定位和加工。

切割樣品:通過控制離子束的掃描軌跡和刻蝕參數,利用離子束對樣品進行切割,形成一個非常薄的切片,其厚度通常在幾納米到幾十納米之間,這取決於所需的分析深度。

觀察和分析:將切片放入透射電子顯微鏡TEM)或掃描電子顯微鏡(SEM)中進行觀察和分析,從而獲得材料結構表徵元素分析等有用的信息和數據。

fib切片分析在材料科學半導體工藝失效分析等領域有廣泛的套用,它可以幫助研究人員深入了解材料的微觀結構和性質,以及定位和解決工藝或設備中的問題。