SEM（掃描電子顯微鏡）圖像的解讀主要關注以下幾個方面：
放大率。在SEM中，放大率是通過控制掃描區域的大小來調節的。放大率可以通過屏幕或照片的面積除以掃描面積來計算。SEM的透鏡與放大率無關。
場深。SEM能夠聚焦電子束在樣品上的一小層區域，這一小層的厚度稱爲場深，通常爲幾納米。場深的增加可以在其他條件不變的情況下獲得更大的圖像對比度和三維成像能力。
作用體積。電子束不僅與樣品表層原子發生作用，還與一定厚度範圍內的樣品原子發生作用，因此存在一箇作用體積。這個作用體積決定了可以觀察到的樣品內部特徵的深度。
工作距離。工作距離是物鏡到樣品最高點的垂直距離。工作距離的調整可以在其他條件不變的情況下影響場深和分辨率。通常使用的工作距離在5毫米到10毫米之間。
成像方式。SEM可以使用次級電子和背散射電子進行成像，其中次級電子的成像效果更佳。背散射電子雖然成像質量不如次級電子，但可以用於成分分析。
表面分析。SEM能夠分析樣品的表面成分，這通常通過特徵X射線的產生過程來實現。由於電子束只能穿透樣品表面很淺的一層，因此表面分析主要用於表面成分的分析。
這些因素共同影響着SEM圖像的觀察和分析。